Контакт

В последние месяцы Министерство промышленности и информационных технологий (МИИТ) выпустило «Руководящие принципы по продвижению и применению первого (набора) крупного технического оборудования (издание 2024 года)». Это открывает путь к полной локализации процесса производства зрелых чипов для узлов выше 28 нм!

Хотя технология 28 нм не является передовой, она имеет важное значение как разделительная линия между чипами низкого и среднего уровня и среднего и высокого уровня. Помимо передовых ЦП, ГП и чипов ИИ, большинство чипов промышленного класса используют технологии 28 нм или выше.

Принцип работы: достижения в области глубокой ультрафиолетовой литографии
Литографические машины KrF (фторид криптона) и ArF (фторид аргона) относятся к категории глубокой ультрафиолетовой (DUV) литографии. Обе используют определенные длины волн света, проецируемые через оптические системы на фоторезистивный слой кремниевой пластины, перенося сложные схемы.
Литографические машины KrF: используют источник света с длиной волны 248 нм, достигая разрешения ниже 110 нм, что подходит для различных процессов производства интегральных схем.
Литографические машины ArF: используют источник света с длиной волны 193 нм, обеспечивая более высокое разрешение для технологий обработки менее 65 нм, что позволяет изготавливать более тонкие схемы.

Технологическое значение: модернизация отрасли и самодостаточность
Разработка этих литографических машин знаменует собой важную веху в развитии производства полупроводников и достижении промышленной автономии:
Технические прорывы: успешное создание литографических машин KrF и ArF подчеркивает значительный прогресс в технологии литографии высокого класса, обеспечивая надежную техническую поддержку для производства полупроводников.
Модернизация отрасли: высокоточные литографические машины позволяют производить более сложные и высокопроизводительные интегральные схемы, стимулируя инновации по всей цепочке создания стоимости полупроводников.
Экономическая и национальная безопасность: снижая зависимость от иностранных технологий, эти машины укрепляют самодостаточность отечественной полупроводниковой промышленности, укрепляя экономическую и промышленную безопасность.

Охладитель воды: ключ к стабильной работе литографической машины
Точный контроль температуры имеет важное значение для обеспечения качества и производительности процесса литографии. Водяные охладители, как основные компоненты систем охлаждения, играют жизненно важную роль:
Требования к охлаждению: Литографические машины чрезвычайно чувствительны к колебаниям температуры во время экспозиции, что требует использования водяных охладителей, которые обеспечивают высокоточный и стабильный контроль температуры.
Функции охладителей: Циркулируя охлаждающую воду, охладители эффективно рассеивают тепло, выделяемое во время работы, поддерживая лазерное оборудование в оптимальном диапазоне температур и обеспечивая точность и надежность процесса литографии.

TEYU Chiller предлагает профессиональные решения по охлаждению для литографических машин
Сверхбыстрые лазерные охладители серии TEYU CWUP могут обеспечить точный и стабильный контроль температуры для литографических машин. Модель охладителя CWUP-20ANP достигает температурной стабильности ±0,08 °C, обеспечивая высокоэффективное охлаждение для точного производства.
В мире точного производства полупроводников литографические машины являются основными устройствами для переноса рисунков микросхем. С развитием технологий литографическая машина на основе фторида криптона и литографическая машина на основе фторида аргона стали важной силой, способствующей развитию отрасли благодаря своей превосходной производительности.